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文章来源:zexu
发布时间:2024-04-30 20:24:05
据悉,该串级温控器由在温控领域深耕超过30年的国内厂商厦门宇电自动化科技有限公司(以下简称:宇电)自主研制。此次半导体设备专用国产串级温控器的成功推出,填补了过去多年在这一领域的
国内空白。随着在光伏产线的成功导入,该产品接下来将向微电子等更广泛的半导体领域扩展,推进上游半导体设备的仪表国产替代。
替代国外品牌,国产温控器实现光伏半导体领域突破
温控器,顾名思义,就是测量并调控温度的设备。它通过读取温度传感器的测量数值,并通过计算机程序执行复杂智能的控制算法,利用连接的执行器件调节加热器等负载的温度。是工业生产、自
动化产线上必不可少的核心配件。
而与普通PID温控器不同,半导体生产设备中许多环节,比如扩散、氧化、刻蚀、PECVD等过程使用的串级温控器需要 复杂调节算法,以此来应对半导体设备中温度控制滞后较大且扰动多等问题。作
为温控器应用的 市场,半导体领域对温控器的产品精度、可靠性、抗干扰性和稳定性要求均非常苛刻。
一位光伏业内人士指出,生产晶体硅太阳能电池的产线上,温度控制更是堪比灵魂。比如扩散炉需要 0℃左右,并且要快速将温度波动稳定在±0.5℃内
,这对控温的 度、可靠性和稳定性有的苛刻要求,温度一旦发生偏差,产品性能就会大打折扣甚至报废。
超高的技术门槛使得能进入半导体领域的串级温控器厂商 ,以往只有日本AZBIL、英国PMA和美国WATLOW旗下EUROTHERM等少数品牌可以满足要求。而宇电新推出的AI-8半导体设备专用串级温控器
去年成功进入光伏领域,成为目前产品成功通过光伏半导体市场验证的国产温控器企业。