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3，主电路，控制电路和辅助电路应分绘制。主电路是设备的驱动电路，是从电源到电动机大电流通过的路径，控制电路是由接触器和继电器线圈，各种电器的触点组成的逻辑电路，实现所要求的控制能，辅助电路包括信号，照明，保护电路。

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与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：以人工方式在单晶炉前将固态多晶硅料一块块地从炉体外转移到石英坩埚内，再进行合炉，真空检漏[1]。整个过程非常缓慢，而且装料过程中要避免硅料碎屑落入热场内。传统装料方法为炉前装料离线装料技术在直拉法硅单晶生产中的应用\引言直拉法(CZ)生产单晶硅是目前单晶硅的主要方法。在单晶生产过程中装料时间(清炉结束到合炉)约为2h追求低成本和率成为每一个企业市场的逐胜之道。其中具有较强的实用性和经济推广价值。1离线装料的工作原理使用一个真空吸盘和一个特制的密封圈与装满多晶硅原生料的石英坩埚密封。新型热屏不仅起到导流筒的作用，了氩气流场，使单晶氧含量下降，而且热屏解决了大直径单晶生长中结晶潜热难以散发的问题，提高了拉晶速率，降低了生产成本。